onsemi’s bemerkenswerte Reise zur effektiven Partikelkontrolle

Sarah Finnerty

semiconductor manufacturing

Halbleiterhersteller halten sich an die strengsten Anforderungen für ihre Fertigungsreinräume, wobei die meisten Räume als Klasse 1.000 bis Klasse 10 bezeichnet werden, was ISO 4 bis ISO 6 entspricht. Die Aufrechterhaltung einer Reinraumumgebung nach ISO 4 bis ISO 6 ist von entscheidender Bedeutung, da sie verhindert, dass „Killer „ 3 -Partikel wie Staub, Zinkwhisker, Metallspäne, Feuchtigkeit und statische Aufladung die Strukturen von Halbleiterbauteilen in der Mikroprozessorproduktion beeinträchtigen. onsemi hat die entscheidende Bedeutung der Partikelkontrolle erkannt und sich an Dycem gewandt, um das Eindringen von Partikeln in seine Reinräume zu überwachen und zu verringern. 1

CHALLENGE

In einer Branche, in der die Kundenerwartungen erstklassige Maßnahmen zur Partikelkontrolle verlangen, hatte onsemi zuvor Partikel mit Hilfe von Einweg-Abziehmatten kontrolliert. Klebebandmatten bieten zwar eine vorübergehende Lösung, haben aber auch einige Nachteile, wie z. B. Ineffizienz bei der Abdeckung großer Flächen, optische Unattraktivität, Stolperfallen und Schwierigkeiten bei der Haftung auf dem Boden. Aufgrund der gemeldeten Probleme machte sich onsemi auf die Suche nach besseren Methoden, um die tadellosen Standards, die in den Reinräumen der Waferfabriken gefordert werden, aufrechtzuerhalten.

SOLUTION

onsemi erkannte die Bedeutung der Partikelkontrolle in der Halbleiterfertigung und wandte sich an Dycem, um das Eindringen von Partikeln in seine Reinräume zu verhindern. Die Dycem-Matten werden auf dem Boden befestigt, wodurch potenzielle Stolperfallen vermieden werden und eine elegante Ästhetik entsteht. Dycem-Matten werden wegen ihrer statisch ableitenden Eigenschaft hervorgehoben. Dycem-Matten übertreffen herkömmliche Haftmatten, indem sie eine unvergleichliche Leistung in Verbindung mit einer zusätzlichen Schicht zum Schutz vor statischer Aufladung bieten. Was sie auszeichnet, ist ihre Anpassungsfähigkeit. Sie können entweder als Standardmatte verlegt oder an Bereiche mit komplexen Grundrissen und Verkehrsflüssen angepasst werden.

RESULTS

Die Erfahrungen von onsemi mit Dycem-Matten waren „hervorragend“, sowohl in Bezug auf die Leistung als auch auf die Optik. Die Integration von Dycem hat die Kontaminationskontrolle und die Sicherheitsmaßnahmen für das onsemi-Team erheblich verbessert. Sie bietet eine hocheffektive Lösung und ist ein großer Erfolg für den Halbleiterhersteller.

 

„Die Kunden erwarten Partikelkontrollmaßnahmen an den Eingängen von Reinräumen… (Dycems) Leistung und visuelle Attraktivität sind hervorragend.“

 

ÜBER ONSEMI

onsemi ist ein Fortune 500-Unternehmen und einer der weltweit größten POWER-Halbleiterhersteller mit Schwerpunkt auf Automobil- und Industrieendmärkten. Die Anlage in Gresham, USA, ist eine hochmoderne, automatisierte Waferfabrik mit 100.000 Quadratfuß Reinraumfläche, die sich auf einem 83 Hektar großen Gelände mit über 500.000 Quadratfuß Gebäudefläche befindet6. Weitere Einzelheiten finden Sie hier: onsemi Gresham Facility. 2

 

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Referenzen:

  1. https://www.golighthouse.com/en/knowledge-center/semiconductor-contamination-sensitivity/#:~:text=Contamination%2C%20such%20as%20dust%20or,thermal%20damage%20or%20device%20failure.
  2. https://www.onsemi.com/company/about-onsemi/locations/gresham-usa
  3. https://www.esda.org/assets/News/20f12b779b/Static-Charge-Control-is-of-Vital-Importance.pdf